實(shí)驗(yàn)室余風(fēng)量(氣流追蹤)控制方法

潔凈實(shí)驗(yàn)室的送風(fēng)量與排風(fēng)量之間保持一定的風(fēng)量差(稱為余風(fēng)量)，必然會導(dǎo)致潔凈室產(chǎn)生一定的壓差。余風(fēng)量(氣流追蹤)控制即控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)測量風(fēng)量(送風(fēng)和排風(fēng)量)變化，通過調(diào)節(jié)送風(fēng)量或排風(fēng)量，動態(tài)的達(dá)到相應(yīng)的風(fēng)量平衡，使送風(fēng)量和排風(fēng)量之間保持恒定的風(fēng)量差，從而維持恒定的壓差。其基本原理見圖2，控制系統(tǒng)利用氣流測量裝置實(shí)時(shí)測量送風(fēng)量和排風(fēng)量，排風(fēng)量可以在排風(fēng)主管上測量，或如圖中在各個單獨(dú)的排風(fēng)上進(jìn)行測量并求和，控制器據(jù)此調(diào)節(jié)送風(fēng)量，使其追蹤排風(fēng)量的變化，保持一定的余風(fēng)量，從而達(dá)到所希望的壓差值?？梢钥闯鲇囡L(fēng)量控制是一個開環(huán)控制系統(tǒng)。